ホーム > 自然科学 > 薄膜成長の話
犬塚直夫・高井裕司
A5判 174ページ
定価：2‚548円（税込）
ISBN：978-4-657-90325-9
半導体デバイス、薄膜の成長・評価・プロセッシングなどの基本と問題点を分りやすく記述する。
